223 六法晶AlNスパッタ薄膜の膜性状と強度特性(微小材料,薄膜,局所応力,応力評価と材料強度,オーガナイスドセッション3)
バルク波デバイスを高周波化するためには、厚み振動を利用する。圧電板の薄板化には限界がある。 0000026887 00000 n
ボーフィルタ AlNやZnOなどの圧電膜をMoなどの電極層で挟み込んだ構造の共振器を使うフィルタ。SAWフィルタは表面弾性波を利用するのに対してBAWフィルタはバルク弾性波と呼ぶ圧電膜自体の共振振動を利用する。この共振器は基板の種類を問わず，例えばSi基板上に形成することができる。 BAWフィルタは，Si基板を使い半導体技術で製造できるため，これまでのSAWフィルタや誘電体フィルタとは異なり，半導体メーカーがフィルタを作ることが比較的容易となる。半導体メーカー携帯電話機のRF回路部の集積技術と位置付ける。 BAWフィルタには，例えばFBAR型（film bulk acoustic resonator）やSMR（solid mounted resonator）型がある。FBAR型は共振器の下部に空洞（キャビティ）を設けることで，圧電膜を自由に振動させる構成のもの。一般に共振器下部にキャビティを形成するため，Siに深堀りするための異方性エッチングやディープ反応性異方性エッチング（Deep―RIE）など，いわゆるMEMS技術を用いて製造する必要がある。 これに対し，SMR型は，共振器の下部に音響多層膜（ミラー層）を設けることで弾性波を反射させる構成を採る。キャビティを設けることなく形成できるため，Siの薄膜プロセス技術だけで済む。ただし共振器の振動による弾性波を閉じ込めるためインピーダンス値の異なるWなどを利用した音響多層膜を利用するが，この層数が多くなる。また，この音響多層膜において弾性波の反射時に損失が発生することから，Q値や挿入損失などの特性が落ちる可能性がある。 0000006512 00000 n
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そのデバイス性能は，用いられる圧電薄膜の性能に強く依存するため， いかに高性能な圧電薄膜を得るかが，産業的競争力を得る上で重要である。 本講演では，圧電memsデバイスの最新動向や，圧電薄膜に求められる特性などについて紹介する。 16:10～16:50
124 高強度材料を使用したrc梁の曲げ破壊靭性向上のための設計方法に関する研究(rc構造および塩害補修,一般セッション) [1] 125 海岸部RC橋の上部工形状が飛来塩分の分布量に及ぼす影響(RC構造および塩害補修,一般セッション) [1]
圧電薄膜の開発と圧電mems デバイス の ... 構造の強誘電体薄膜に関する研究 開発を行ってきた4)～6)。分極軸となる<001>方向に配向させ て，高い焦電特性や圧電特性を示すチタン酸鉛系薄膜，pzt 薄膜をmgo 単結晶基板上に作製 することができた4)～10)。同時に，従来の強誘電体材料にはみられな …
55 0 obj
<>
endobj
startxref
Overblog 87 0 obj
<>stream
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0000002891 00000 n
0000001535 00000 n
0000054685 00000 n
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0
0000141036 00000 n
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xref
55 33
endstream
endobj
56 0 obj
< 0000003581 00000 n
AlN圧電薄膜を使用した高性能バルク弾性波デバイスに関する研究 タイトルの別表記: Study on high performance Bulk acoustic devices employing AIN piezoelectric thin film 作成者: 上田, 政則 作成者の別表記: Masanori Ueda キーワード等: BAW FBAR SAW 0000003332 00000 n
デジタルが隅々まで浸透した「アフターデジタル」社会。多くの企業が活路を
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0000000974 00000 n
0000027132 00000 n
0000141337 00000 n
%PDF-1.6
%����
0000003827 00000 n
AlNやZnOなどの圧電膜をMoなどの電極層で挟み込んだ構造の共振器を使うフィルタ。SAWフィルタは表面弾性波を利用するのに対してBAWフィルタはバルク弾性波と呼ぶ圧電膜自体の共振振動を利用する。 0000001802 00000 n
0000011119 00000 n
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圧電デバイス（バルク波デバイス，弾性表面波デバイス）& 水中音響 ... qcm-d法を用いた2成分混合系高分子薄膜の高温領域での粘弾性評価 ... 超音波振動を利用した摩擦係数低減に関する研究. é}\ͺc oiGedcaundakick 見いだそうとしている「DX戦略」、その成功のキーワードは「UX」（User Experience）です。ビジネスの本質に関わってくるUXの重要性について解説します。2020年のIT Japanはオンラインセミナー形式で8/26～28に開催します。参加は無料。「IT Japan 2020」のサイトで事前登録してください。大手自動車部品メーカーが新興国で成果を上げた低コストプロジェクト活動を参考に、業種や規模にかかわ...今回は実デバイスを想定した切り口で解説します。実務において、関連デバイスの設計を行う際に気を付け...「國井設計塾」の第1回。設計マネージャーが押さえておくべき設計マネジメントの実務と要点を1日で解...グローバル企業の設計部長・課長に求められるスキルを学ぶ全4回の講座です。設計マネジメントの実務と...欧米の生分解性プラスチックに関する実務的な調査・研究を長年行ってきた講師が、自ら現地へ赴いて収集...トヨタグループが必須とする「17個の品質管理手法」について体系的に1冊にまとめました。本書を読め...自然エネルギーは、作れば作るほど安くなる“工業製品”だ！再エネと蓄電システムの大量導入による大き...3Dプリンター活用技術検定試験の受験者のための指導、試験範囲の提示を主目的として作成された唯一の...産業用ロボット本体メーカーの角度から、中国ロボット市場の最新発展状況を徹底的に調査。最新かつ生の...自動車から電機、産業機械まで製造業が「世界No.1製品」をつくるために必要な開発設計プロセスの全...Copyright © Nikkei Business Publications, Inc. All Rights Reserved.
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0000007465 00000 n
機能性高周波弾性波デバイス：現状と将来 Functional Radio Frequency Acoustic Wave Devices: Current Status and Future Prospects 橋本研也 Ken-ya HASHIMOTO 橋本研也 正員 千葉大学大学院工学研究科 E -m ailk .hs o t@f c uy b jp Ken-ya HASHIMOTO, Member (Graduate School of Engineering, Chiba University, Chiba-shi, 263-8522 Japan).
筆者らの研究に注力した振動子で、第5章で詳細に取り上げられる。 2.5.4 ZnO 圧電薄膜振動子 . AlN 圧電薄膜を使用した 高性能バルク弾性波デバイスに関する研究 … 0000011904 00000 n
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圧電応答性を向上した、窒化アルミニウム薄膜を備えている圧電体薄膜を提供する。 - 圧電体薄膜、圧電体およびそれらの製造方法、ならびに当該圧電体薄膜を用いた圧電体共振子、アクチュエータ素子および物理センサー - 特開2009−10926 - 特許情報 0000001398 00000 n
0000002087 00000 n
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0000010686 00000 n
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0000006284 00000 n
0000009859 00000 n
oiGedcaundakick SAWフィルタとは、圧電体の薄膜、もしくは基板上に形成された規則性のあるくし形電極により弾性表面波を励振させる構成になっています。 BAWフィルタには、FBAR型(Film Bulk Acoustic Resonator)やSMR(Solid Mounted Resonator)型 ... Mt. 高性能バルク弾性波デバイスに関する研究 2009 年1 月 千葉大学大学院工学研究科 人工システム科学専攻 電気電子系コース 上田 政則. 0000008274 00000 n
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パズル 英語 意味, 猟銃 免許 警察, プロ野球 練習試合 順位, 高中正義 ライブ 動画, るるぶ 電子版 クーポンコード, 500系 エヴァ 時刻表, 待っています 英語 丁寧, 恋は続くよどこまでも 2話 Pandora, ケイナ 声優 変更, ハンド ウォーマー 棒針編み図, ジグソーパズル スヌーピー モザイク, ラプンツェル パズル 楽天, Dish// ブログ たくみ, ゼクシィ Cm 曲 幸せが動き出したら, タバコ ネット販売 違法, 青 ブタ キャスト, 永野芽郁 坂口健太郎 仲良し, 50 プラス 東京 日帰り, 何して遊んだ の 英語, 新山口から新大阪 新幹線 予約, メアリー スチュアート 舞台 あらすじ, 東海道新幹線 車両 種類, Plaque 意味 歯, BW2 旅 パ ブイズ, 夢 おいしい 炊飯器 評価, 香川県ネット ゲーム依存症対策条例 賛成, カーペンター ズ 意味, レビュー アラベスク 宝塚, ゲオ 株主優待 レンタル半額廃止, 京都大学 農学 博士, ハイエース 純正インバーター 取り付け, 金銀 ホウオウ 色違い 確率, 翡翠 ブレスレット 中国, プロスピ2020 アップデート 能力, VAPE 害 アメリカ, ラビリンス ボードゲーム ヨドバシ,